產品介紹
一、軟件介紹
SinoTCAD軟件是一款基于通用物理及數學原理，從材料層面上求解半導體相關物理和化學方程，進行光、電、熱、力等多場自洽計算的半導體工藝和器件仿真軟件，可用于分析器件內部物理機理、優化工藝和器件結構，對于提高半導體器件的光電特性、產品研發效率和良率都具有重要作用。
二、軟件特點
- 物理模型先進且豐富，精確描述各類物理效應
- 高效的建模、可視化和項目管理系統，有效提升仿真效率
- 全程圖形化界面操作，易于學習和快速掌握
- 模塊分類化管理和設計，便于模型調用和參數設置
- 材料庫靈活開放，可任意修改和添加材料
- 仿真檢測系統，增強仿真項目可靠性
- DOE和公差分析系統，加速器件結構優化速度
- *Python語言的腳本操作系統，提升器件仿真的效率和靈活性
- *高效的API支持系統，便于二次開發和新物理模型的集成
- 多種計算收斂技術綜合運用，確保良好的收斂性
- 完備的應用案例和技術服務
- 強大的后處理功能，所有分析可輸出圖表
三、軟件功能
1.半導體工藝仿真
1）物理沉積（LPCVD & PECVD & APCVD & PCVD）
2）離子注入
3）刻蝕 (干法和濕法刻蝕)
4）氧化
5）擴散
6）光刻 (2D & 3D)
7）展示不同工藝條件下，膜層質量或器件內部物理參數變化，包括
?●膜層表面形貌變化
?●膜層厚度變化
?●膜層材料組分變化
?●膜層雜質濃度分布
?●膜層缺陷分布
2. 半導體器件仿真
1）發光二極管 (LED)，有機發光二極管 (OLED)，Micro-LED，Mini-LED，Nanorod LED
2）太陽能電池 (單結、多結、多光源以及RCC Solar cell等)
3）探測器（PIN/APD/QWIP /Tpye II PD等）
4）邊發射及垂直腔面發射激光器（FP/DFB/DBR/QCL/VCSEL等）
5）波導器件（EAM/SOA/SLD/WPD等）
6）微電子器件（SBD/JBS/PIN/MOSFET/JFET/IGBT/BJT/TFT/HEMT/FINFET/GAA/HBT等)
7）圖像傳感器 (CIS)
8）光子集成器件 (EBL/DFB+SOA/Transistor Laser/Si基耦合激光器/HEMT-LED等）
9）器件+電路混合仿真
10）展示各類半導體器件在不同注入條件下內部物理量和光電特性的變化
● 電場、電勢、載流子濃度、能帶結構、波函數、遷移率、空間電荷、溫度、熱源、吸收、遠場及近場模式分布等物理參數的1D/2D/3D空間分布
● I-V曲線、I-P曲線、內量子效率、外量子效率、暗電流、光電流、響應率、響應度、發光光譜、激射光譜、折射率變化、相對強度噪音等器件特性
● 瞬態及高頻特性、S參數等
四、應用場景
SinoTCAD軟件廣泛應用于各類型半導體芯片的研制和教學及專業技術人員培訓，應用場景包括但不限于航空航天、硅光子、智能電網、新能源汽車、集成電路、新一代顯示、雷達、半導體設備研發、傳感以及5G通信等領域。